디스플레이 공정별 장비
- EVP
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- 설비 Part’s 반입 / 반출
- Part’s 사전 준비
- Part’s 교체 (Shield,QCM,Viewport Glass)
- Cleaning
- 재료 Unloading / Loading
- 현장 5S 및 PART's 정리
- CHUCK
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- Chuck Repair
- Chuck 표면 Polishing
- Repair Map 관리
- Chuck 이력 관리
- Chuck 표면 CLN
- 현장 5S 및 PART's 정리
- CVD (SYSTEM)
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- Part’s 반입 반출
- 설비 Part’s 교체
- 전극 Leveling
- Leak Check
- SYSTEM 설비 Robot Part’s 교체
- SYSTEM 설비 Teaching
- 설비 이상 유무 Daily Check
- 현장 5S 및 PART's 정리
- PHOTO
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- 설비 Driving Part’s Cleaning
- 설비 Driving Part’s Grease Up
- WET 설비 Base Water Cleaning
- OVEN 설비 Cooler 교체
- 설비 이상 유무 Daily Check
- 현장 5S 및 PART's 정리
- Cell CVD
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- Part’s 반입 반출
- 설비 Part’s 교체
- 전극 Leveling
- Leak Check
- 설비 이상 유무 Daily Check
- 현장 5S 및 PART's 정리
- 후 공정
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- Glass 검수 설비 Grease Up
- Glass Cutting 설비 Cleaning
- Laser Marking 설비 Grease Up
- Leak Check
- Cutting Glass 회수
- 현장 5S 및 PART's 정리