디스플레이 공정별 장비
- CVD WET
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- 사전 LEAK CHECK
- Lid Open 후 전극 및 Part 교체
- 주기성 O-Ring 교체
- 전극 Flatness 측정 및 Adjust
- Lid Close > 양산 Data Setting (Spacing, Dummy Glass)
- Leak Check > Heat Up
- 현장 3S 및 PART 정리
- EVP WET
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- 대차 반입 반출
- QCM (Sensor 조립)
- Shield 교체/QCM 교체
- 설비 Undocking/Docking
- 물질 Loading
- 현장 3S 및 PART 정리
- CHUCK
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- Chuck 투입/배출
- Gluon 교체
- Polising 연마
- Chuck 표면 Cleaning
- 현장 3S 및 PART 정리
- SYSTEM
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- 밀폐 보호구 설치
- Transfer Chamber Open
- Robot PM (PAD 교체)
- Grease Up, Aging, Teching
- Cover 탈착 및 Gate Valve 탈착
- Cleaning (Transfer Chamber, Loader)
- ATM Robot Cover 탈착 및 점검
- ATM Robot PM (PAD 교체) (Grease Up, Aging, Teching)
- 설비 interlock 설정
- 현장 3S 및 PART 정리
- PHOTO
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- 사전준비 (IPA, Wiper, 공구)
- 설비 Open > Lift 안전 난간 설치
- Cleaning (Chamber, Robot CLN)
- 구동 부 Grease 주입
- 설비 Close
- Lift 안전난간 해체
- SYSTEM
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- 사전 준비
- 물총 연결 및 Fliter valve, Main valve Off
- 설비 Open
- Cleaning
- PR제거 및 Fliter valve 주변, Cleaning
- 설비 Close
- 현장 3S 및 PART 정리